Mikrosystemtechnik
Kooperationen
Ruhr-Universität Bochum:
- Forschungsgruppe Werkstoffe und Nanoelektronik
- ZGH Zentrum für Grenzflächendominierte Höchstleistungswerkstoffe
- Materials Research Department
- Research Department „Plasmas with Complex Interactions”
Technischen Universität Ilmenau:
VDE: