Lehrstuhl

Konzept
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet, dessen Fachgebiet Mikromechanische Komponenten und Systeme sind.

Schwerpunkte der Forschungsaktivitäten am Lehrstuhl sind die Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS).

Aktuelle Schwerpunkte sind die Themenfelder:
-   Mikro-Nano-Integration,
-   2D-Materialien und deren Anwendung,
-   Mikroaktorik für große Stellwege sowie
-   passive Sensorik, d.h. autarke Sensorsysteme
    ohne elektrische Energiequelle bzw. Energy
    Harvesting.