Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik

Herzlich willkommen am Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik!
Der Lehrstuhl wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet, dessen Fachgebiet Mikromechanische Komponenten und Systeme sind.

Schwerpunkte der Forschungsaktivitäten am Lehrstuhl sind die Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) – insbesondere für Anwendungen für Optische Mikrosysteme, für die Lebenswissenschaften und für Energie-effiziente Systeme.
Der Lehrstuhl befasst sich beispielsweise mit selbstorganisierender Nanostrukturierung für funktionale Oberflächen, Mikro-Nano-Integration und neuartigen Sensorkonzepten.

Auf den Webseiten erhalten Sie weitere Informationen zur Forschung und Lehre am Lehrstuhl, der zur Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum gehört.