Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik

Herzlich willkommen am Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik!

Schwerpunkte der Forschungsaktivitäten am Lehrstuhl sind die Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS).

Aktuelle Schwerpunkte sind die Themenfelder:

Mikro-Nano-Integration,
2D-Materialien und deren Anwendung,
Mikroaktorik für große Stellwege sowie
passive Sensorik, d.h. autarke Sensorsysteme
ohne elektrische Energiequelle bzw. Energy Harvesting.

Auf den Webseiten erhalten Sie weitere Informationen zur Forschung und Lehre am Lehrstuhl, der zur Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum gehört.