Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik

Herzlich willkommen am Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik!

Schwerpunkte der Forschungsaktivitäten am Lehrstuhl sind die Entwicklung, Herstellung und Charakterisie­rung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS).

Aktuelle Schwerpunkte sind die Themenfelder:

  •   Mikro-Nano-Integration,
  •   2D-Materialien und deren Anwendung,
  •   Mikroaktorik für große Stellwege sowie
  •   passive Sensorik, d.h. autarke Sensorsysteme
      ohne elektrische Energiequelle bzw. Energy Harvesting.

Auf den Webseiten erhalten Sie weitere Informationen zur Forschung und Lehre am Lehrstuhl, der zur Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum gehört.